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凡超速离心机内都有真空部分。如果超速离心机的转头室内真空度达不到要求时,转头转速也就达不到要求。一般要求真空度为5 X 10-2到5 x 10-s,随着转速增高,对真空度要求也愈高。
超速离心机获得真空部分是由二极旋片式真空泵、油扩散泵和电离式真空计(又称皮拉尼真空计)所组成。
1.旋片式真空泵
它是二级串联式真空泵。用它作为抽系统中粗真空,一旦系统达到粗真空最高极限后,系统即串入扩散泵.在使用旋片式真空泵中要注意真空泵中不得吸入水等污物,并且要定时更换专用真空泵油,才能保持真空泵的抽空性能。
2.(油)扩散泵
是获得高真空的设备,其结构见图1一31所示。它的工作原理;是利用扩散泵油被加热呈蒸气状态,当其蒸发中经一次喷口③,在扩散中将真空系统中从法兰接口①所来的微量气体一并携出,由于泵体⑩外有水冷却,油雾冷凝呈油滴流下,气体由前级旋片泵抽去。